| 1 总则 |
| 2 术语 |
╁3 特种气体站房| 3．1 一般规定 | | 3．2 特种气体站房布置 | | 3．3 特种气体设备布置 |
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╁4 特种气体工艺系统| 4．1 一般规定 | | 4．2 特种气体输送系统 | | 4．3 吹扫和排气系统 | | 4．4 硅烷工艺系统 |
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╁5 生命安全系统| 5．1 特种气体管理系统 | | 5．2 特种气体探测系统 | | 5．3 其他安全设施 | | 5．4 特种气体报警的联动控制 |
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╁6 特种气体管道输送系统| 6．1 一般规定 | | 6．2 材料选型 | | 6．3 管道设计 | | 6．4 管道标识 |
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╁7 建筑结构| 7．1 一般规定 | | 7．2 建筑防火 | | 7．3 建筑构造措施 |
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| ╁8 电气与防雷 |
╁9 公用工程| 9．1 给水排水 | | 9．2 消防 | | 9．3 采暖通风与空气调节 |
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╁10 特种气体系统工程施工| 10．1 一般规定 | | 10．2 主要设备、材料进场验收 | | 10．3 气瓶柜与气瓶架的安装 | | 10．4 阀门箱与阀门盘的安装 | | 10．5 尾气处理装置及纯化器的安装 | | 10．6 特种气体管道安装 | | 10．7 特种气体管道改扩建工程施工 |
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╁11 特种气体系统工程验收| 11．1 一般规定 | | 11．2 设备验收 | | 11．3 管路与系统验收 | | 11．4 气体探测(监控)系统验收 |
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| 附录A 特种气体管道氦检漏方法 |
| 附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体) |
| 本标准用词说明 |
| 引用标准名录 |
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