| 1 总 则 |
| 2 术 语 |
| 3 基本规定 |
╁4 工 艺| 4.1 一般规定 | | 4.2 基本工序 | | 4.3 工艺区划 | | 4.4 设备配置 |
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| ╁5 厂址选择及总体规划 |
| ╁6 建 筑 |
╁7 结 构| 7.1 一般规定 | | 7.2 厂房结构设计 | | 7.3 微振动控制标准 | | 7.4 微振动控制设计及测试 | | 7.5 基座平台设计 |
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╁8 气体动力| 8.1 冷、热 源 | | 8.2 大宗气体供应 | | 8.3 特种气体供应 | | 8.4 压缩空气供应 | | 8.5 工艺真空和清扫真空 |
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╁9 供暖、通风、空气调节与净化| 9.1 一般规定 | | 9.2 采暖、通风与废气处理 | | 9.3 空气调节与净化 | | 9.4 防 排 烟 |
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╁10 给水排水| 10.1 一般规定 | | 10.2 一般给水排水 | | 10.3 纯 水 | | 10.4 工艺冷却循环水 | | 10.5 废 水 | | 10.6 消防给水及灭火设施 |
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╁11 电 气| 11.1 供配电与照明 | | 11.2 防雷与接地 | | 11.3 火灾报警及消防联动 | | 11.4 通信及自控 |
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╁12 防 静 电| 12.1 一般规定 | | 12.2 防静电措施 | | 12.3 防静电接地 |
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╁13 化 学 品| 13.1 一般规定 | | 13.2 化学品储存和配送 | | 13.3 管材、阀门 | | 13.4 化学品废液收集回收 |
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╁14 空间管理| 14.1 一般规定 | | 14.2 管线布置 | | 14.3 共用管道支、吊架 |
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| 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程 |
| 附录B 微振动标准VC曲线 |
| 本规范用词说明 |
| 引用标准名录 |
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